MPI 半自動晶圓級探針臺系統SiPH/TS3000-SE/TS3000/TS2000-SE/TS2000返回列表

SiPH Probe System

MPI為其著名的TS2000-SE，TS3000，TS3000-SE，TS3500和TS3500-SE探針系統設計了專用的SiPH升級，包括：

• 高精度光纖對準系統的各種選項，可用于超快速掃描程序

• 面向OO，OE，EO和EE設備配置的多種測量功能

• 集成的Z感應功能可檢測光纖與晶圓的接觸點

• 使用兩個光纖臂時的防撞保護

• -40°C至200°C的寬溫度范圍

• 可選的暗箱，用于在密閉環境中進行測試

• 廣泛的軟件包，支持輕松集成到操作員的測試執行人員

TS3000-SE Probe System

TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發，該系統配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現超低噪聲，滿足設備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。

優勢：

適用于多種晶圓量測應用

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性測試 - 精確的壓力測試

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境，以得到最佳的 1/f 超低噪測試結果

• 支援 fA 級超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

TS3000 Probe System

MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統，搭配獨特的可開放式下做高低溫測試，專門為產品工程，故障分析，設計驗證，晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計，

并提供：

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 最高溫度范圍-60°C至300°C

• 出色的靈活性

• 具有特定設計的電纜接口的與功能測試儀的最小電纜距離，可實現更好的測量方向性

• 最小的卡盤到工作臺面高度可實現較佳mmW和內部節點探測

• 通過在內部集成熱系統的冷卻器，將系統占地面積降至較低

TS2000-SE Probe System

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是市場上具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統，其包含獨特的側面自動裝卸功能，

優勢：

適用于多種晶圓量測應用

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探針卡 / 節間探測

• 可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

• 高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

• 支持飛安級低漏電值量測

• 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

TS2000 Probe Systems

MPI TS2000是全球范圍內公認的探針系統的自然演變，其專用設計可滿足高級半導體測試市場的需求。該系統與所有MPI系統附件完全兼容，主要設計用于解決故障分析，設計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及對MEMS、高功率、RF和mmW器件測試的特殊要求。

優勢：

適用于多種量產型晶圓量測應用

• 模塊量測 ：DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 射頻量測 ：至高 110 GHz

• 高功率量產測試 ： 至高 10 kV / 600 A

• 開放式溫區：25°C至 300 °C

• 內置被動式防震系統

• 可乘載達 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具

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