TS3000-SE Probe System

產品概要：

TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發，該系統配備了MPI ShielDEnvironment™，可實現超低噪聲，滿足設備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。

基本信息：

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統，可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin或高功率等多種測試組合。

探針懸停控制

MPI探針懸停控制PHC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制，以實現探針到晶圓的精確定位。

快捷的晶圓裝載

雙前門通道和獨特的卡盤設計使150、200、300mm晶圓，及微小器件的快速更換，兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面，可以很方便地進行裝卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探針系統中，并基于數十年的經驗和客戶互動而設計，隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

溫控系統

MPI和ERS共同設計了新型300 mm熱卡盤AirCool®PRIME 系列，具有很好的的熱靈活性，可將變溫時間減少60%，減少轉換時間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統的附加價值。便捷式的觸摸屏實時顯示卡盤溫度，該觸摸屏位于操作員前方的便利位置，以實現快速的操作和即時的反饋。

ERS獨特的AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™，可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

安全測試管理(STM)系統

獨特的STM系統可防止在測試過程中打開正門，以保證測試過程的安全，任何情況下都無法打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚，系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足，則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式，迅速將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環境，使TS3000-SE的測量更加安全，可靠和方便。

儀器集成

可選的儀器架可縮短電纜長度，并提高 RF和mmW 應用中的測量動態性和方向性。

軟件套件SENTIO®

MPI自動工程探針系統由獨特且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件，簡單直觀的操作節省了大量的培訓時間。“滾動”，“縮放”，“移動”命令模仿了現代智能移動設備，使每個人都可以在短短幾分鐘內成為專家。在活動應用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。

技術優勢：

1、適用于多種晶圓量測應用

2、模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

3、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

4、可靠性測試 - 精確的壓力測試

5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

6、專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境，以得到 1/f 超低噪測試結果

7、支援 fA 級超低噪 IV 量測

8、可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

9、具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

應用方向：

適用于多種晶圓量測應用。

TS3000-SE Probe System

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