TS2000-SE Probe System

產品概要：

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統，其包含獨特的側面自動裝卸功能。

基本信息：

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微屏蔽暗箱，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin等多種測試組合。

自動化晶圓裝載系統

該功能提供了非常方便的晶圓裝載，并且易于針對自動程序進行預對準，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓。

安全管理(STM)系統

獨特的STM系統可防止在測試過程中打開正門，以保證測試過程的安全，任何情況下都無法打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚，系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足，則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式，迅速將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環境，使TS2000-SE的測量更加安全，可靠和方便。

高效率的裝卸

自動化的單晶圓裝載機和安全測試管理提供了獨特的功能，可以在卡盤任意溫度下更換晶圓，不再需要冷卻或加熱到環境溫度。這樣可以節省大量的等待時間，并顯著提高MPI測試系統的整體效率，可支持100mm-200mm不同尺寸晶圓。

側視影像系統(VCE™)

借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE™影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸，使用DC或RF等探針卡非常安全。

ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™，可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

MPI THZ選項

它將TS2000-SE系統轉換為專用的mmW和THz探針臺，是自動化探針臺測試系統：MPI THZ Selection融合了MPI為TS200-THZ開發的頻率擴展器集成創新設計，可將擴展器懸停在整個200 mm晶圓上;這將與DUT的距離減至較小，以提供較佳的測量方向性和準確性。

溫控系統

溫度控制可以通過集成的觸摸屏顯示器來操作，該顯示器位于操作員前方的便利位置，以實現快速的操作和即時的反饋。TS2000-SE內置集成了高性能的振動隔離平臺，可在任何實驗室測試環境中更好地運行。總占地面積較小。可選的儀器架可縮短電纜長度并增加測量動態性和方向性。

控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探針系統中，并基于數十年的經驗和客戶互動而設計，以提供更快，更安全，更便捷的系統控制和測試操作。隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

技術優勢：

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測

4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

7、支持飛安級低漏電值量測

8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

應用方向：

適用于多種晶圓量測應用。

 

TS2000-SE Probe System

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