TS3000 Probe System

產品概要：

MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統，搭配獨特的可開放式下做高低溫測試，專門為產品工程，故障分析，設計驗證，晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計。

基本信息：

IceFreeEnvironment™

結合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內對300mm的晶片進行微型定位器和(或)探針卡測試，并具有在膠片框架上進行探測的附加功能。

探針懸停控制

MPI探針懸停控制PHC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制，以實現探針到晶圓的精確定位。

超大面積工作臺

TS3000系列提供了易于使用的大型探針座放置臺面，以適應多達12套直流或4套射頻的微定位器，集成了負載拉力調諧器或更大面積的微型定位器，使得TS3000系統成為RF和mmW測量的理想選擇。

快捷的晶圓裝載

雙前門通道和獨特的卡盤設計使150、200、300mm晶圓，及微小器件的快速更換，兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面，可以很方便地進行裝卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探針系統中，并基于數十年的經驗和客戶互動而設計，隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

溫控系統

MPI和ERS共同設計了新型300 mm熱卡盤AirCool®PRIME 系列，具有很好的的熱靈活性，可將變溫時間減少60%，減少轉換時間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統的附加價值。便捷式的觸摸屏實時顯示卡盤溫度，該觸摸屏位于操作員前方的便利位置，以實現快速的操作和即時的反饋。

ERS獨特的AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™，可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

探針卡和微型定位器

多達12套DC或4套DC和4套射頻微型定位器，及4.5英寸的標準探針卡夾具，使該系統成為設計驗證和(或)故障分析工作的理想選擇。

儀器集成

可選的儀器架可縮短電纜長度，并提高 RF和mmW 應用中的測量動態性和方向性。

安全測試管理(STM)系統

獨特的STM系統可防止在測試過程中打開門，以保證測量結果很安全。在負吸盤溫度期間，任何情況下都無法意外打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚。系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足，則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式，盡快將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過自動保持安全的測試環境，使TS3000的測量更加安全，可靠和方便。

技術優勢：

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

2、溫度范圍-60°C至300°C

3、較強的靈活性

4、具有特定設計的電纜接口的與功能測試儀的最小電纜距離，可實現更好的測量方向性

5、較小的卡盤到工作臺面高度可實現不錯的內部節點探測

6、通過在內部集成熱系統的冷卻器，將系統占地面積降至較低

應用方向：

專門為產品工程，故障分析，設計驗證，晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計。

 

TS3000 Probe System

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