全自動晶圓級探針臺系統TS2500 Series Probe System返回列表
MPI的200毫米 8寸全自動探針臺系統系列是專門為解決射頻(RF)和大功率晶圓測試而開發的，該系統旨在實現24 7的生產可靠性，并與所有MPI系統
MPI的200毫米/8寸全自動探針臺系統系列是專門為解決射頻(RF)和大功率晶圓測試而開發的，該系統旨在實現24/7的生產可靠性，并與所有MPI系統附件兼容。
優勢：
適用于多種量產型晶圓級射頻量測應用
• 射頻量測 - 至高 67 GHz
• 可同時進行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量測
• 標準配備有偏心軸晶圓對準鏡頭
• 可支持配至薄50um薄晶圓選項
• 可支持溫度區間：20℃到300℃
全自動晶圓級探針臺系統TS2500特點與優勢
薄晶圓處理
TS2500 RF卡盤獨特的設計可以安全地處理厚度最小50微米的晶圓，從而能夠測試具有挑戰性的III-Vs化合物薄片。射頻卡盤包括兩個完全由特殊陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的射頻校準。輔助卡盤也可以用來固定探針清潔材料。
自動化裝卸系統
自動化包括雙末端執行器和雙晶圓盒，適用于150或200mm晶圓，可提供高效率的晶圓交換并提高測試速度。TS2500的最高速度可以達到10 Die /s(取決于最終系統配置)，使其成為在高功率，分立RF器件以及集成電路(IC)上進行生產電氣測試的理想選擇。
