全自動晶圓級探針臺系統解決方案返回列表
MPI的200毫米/8寸全自動探針臺系統系列是專門為解決射頻(RF)和大功率晶圓測試而開發的,該系統旨在實現24/7的生產可靠性,并與所有MPI系統附件兼容。
優勢:
適用于多種量產型晶圓級射頻量測應用
• 射頻量測 - 至高 67 GHz
• 可同時進行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量測
• 標準配備有偏心軸晶圓對準鏡頭
• 可支持配至薄50um薄晶圓選項
• 可支持溫度區間:20℃到300℃
特點與優勢
薄晶圓處理
自動化裝卸系統
自動校準系統
超大功率探頭
完整的測試解決方案
TS2500可以配置MPI的高性能RF探針 ??/高功率附件,例如MicroPositioners,RF線纜,校準片,TITAN™RF 探針,大功率儀器連接套件,Taiko晶圓支架或防電LiquidTray™,以確保安全和準確射頻/大功率測量。
隨著VNA與DUT的集成更緊密,與Rohde&Schwarz合作新的先進校準技術,使TS2500-RF成為了解決RF生產測試復雜性的完整測量解決方案。