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TS2500 Series Probe System

MPI的200毫米/8寸全自動探針臺系統系列是專門為解決射頻(RF)和大功率晶圓測試而開發的，該系統旨在實現24/7的生產可靠性，并與所有MPI系統附件兼容。

優勢：

適用于多種量產型晶圓級射頻量測應用

• 射頻量測 - 至高 67 GHz

• 可同時進行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量測

• 標準配備有偏心軸晶圓對準鏡頭

• 可支持配至薄50um薄晶圓選項

• 可支持溫度區間：20℃到300℃

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