全自動晶圓級探針臺系統TS3500的詳細介紹返回列表
S3500 Probe System
TS3500和TS3500-SE 在功能上與MPI著名的已建立的 TS3000 和 TS3000-SE 300毫米探針臺具有相同的功能,并通過配置或升級MPI獨特的WaferWallet™而具有完全自動化的功能。MPI的解決方案通過提供較多的完全自動化功能,降低了客戶的總體測試成本。 優勢:
適用于多種晶圓量測應用
• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 可靠性測試 - 精確的壓力測試
• 先進的測試控制軟件套件
• 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
• 支持飛安級低漏電值量測