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半自動晶圓級探針臺系統TS3000-SE的特點與優勢
TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發,該系統配備了MPI ShielDEnvironment™,可實現超低噪聲,滿足設備的需求表征,晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。
優勢:
適用于多種晶圓量測應用
• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f,RTS
• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 可靠性測試 - 精確的壓力測試
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境,以得到最佳的 1/f 超低噪測試結果
• 支援 fA 級超低噪 IV 量測
• 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作
• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統,可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin或高功率等多種測試組合。