半自動晶圓級探針臺系統TS3000的特點與優勢返回列表
半自動晶圓級探針臺系統TS3000的特點與優勢MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統，搭配獨特的可開放式下做高低溫測試，專門為產品工程，
半自動晶圓級探針臺系統TS3000的特點與優勢
MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統，搭配獨特的可開放式下做高低溫測試，專門為產品工程，故障分析，設計驗證，晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計，
并提供：
• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 最高溫度范圍-60°C至300°C
• 出色的的靈活性
• 具有特定設計的電纜接口的與功能測試儀的最小電纜距離，可實現更好的測量方向性
• 最小的卡盤到工作臺面高度可實現較佳mmW和內部節點探測
• 通過在內部集成熱系統的冷卻器，將系統占地面積降至較低
IceFreeEnvironment™
結合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內對300mm的晶片進行微型定位器和(或)探針卡測試，并具有在膠片框架上進行探測的附加功能。
探針懸停控制
MPI探針懸停控制PHC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制，以實現探針到晶圓的精確定位。
