半自動晶圓級探針臺系統TS2000的特點與優勢

MPI TS2000是全球范圍內公認的探針系統的自然演變，其專用設計可滿足高級半導體測試市場的需求。該系統與所有MPI系統附件完全兼容，主要設計用于解決故障分析，設計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及對MEMS、高功率、RF和mmW器件測試的特殊要求。

優勢：

適用于多種量產型晶圓量測應用

• 模塊量測 ：DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 射頻量測 ：至高 110 GHz

• 高功率量產測試 ： 至高 10 kV / 600 A

• 開放式溫區：25°C至 300 °C

• 內置被動式防震系統

• 可乘載達 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具

超大面積工作臺

TS2000系列提供了易于使用的大型探針座放置臺面，以適應多達12套直流或4套射頻的微定位器。

集成了負載拉力調諧器或更大面積的微定位器，使得TS2000系統成為射頻和毫米波測量的理想選擇。

快速的晶圓裝載

寬大的前門通道可輕松裝載/卸載100、150、200mm的晶圓，及微小器件的快速更換

兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面，可以很方便地進行裝卸。

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