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詳解半自動探針臺的技術指標及功能
半自動探針臺技術指標支持4,5,6寸wafer 分辨率0 25um 提供4個SMU接口,可同時輸出(測量)四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100 ...
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詳解探針臺和點針工作站的操作步驟
一 探針臺操作步驟:1 將測試產品放入探針臺的臺盤上;2 打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);3 打開背光面板光源開關;4 調整Z axis高度對焦, ...
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詳解半導體失效分析流程方法總結
1 OM 顯微鏡觀測,外觀分析2 C-SAM(超聲波掃描顯微鏡)(1)材料內部的晶格結構,雜質顆粒,夾雜物,沉淀物,(2) 內部裂紋。(3)分層缺陷。(4 ...