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半自動探針臺技術指標

支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出(測量)四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。

半自動探針臺主要功能

通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設備TP03000A的連接，組成一個測試平臺，完成對器件封裝前的電性能測試(電阻，C/V,擊穿特性等)。

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    英鉑科學儀器(上海)有限公司是一家專注于半導體晶圓級測試系統、微納米科學等領域提供綜合性解決方案的企業，為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供先進的半導體測試系統及微納米科學儀器設備，助祖國半導體科學事業的騰飛貢獻一份綿薄之力!

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