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2022-04-11 英鉑科學儀器（上海）有限公司

英鉑科學儀器真空探針臺系列是不需要低溫制冷劑的探針臺，它可以對器件進行非破壞性的測試，器件的最大尺寸可達到51mm(2inch)。它可以對材

英鉑科學儀器真空探針臺系列是不需要低溫制冷劑的探針臺，它可以對器件進行非破壞性的測試，器件的最大尺寸可達到51mm(2inch)。它可以對材料或器件的電學特性測量、光電特性測量、參數測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個測試平臺。一般來講，納米電子材料、量子線、量子點和半導體材料是在CRX- 4K進行測量的比較典型的材料。系統的探針、測試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇，從而滿足不同用戶的需要。

使用4K閉循環制冷機，不需要消耗液氦和液氮，CRYO的溫度變化范圍4.5K到350K，加上一個可以更換的高溫樣品架選件，溫度變化范圍50K到500K。每一個低溫樣品級都安裝溫度計和加熱器，可以提供快速的熱響應，快速迅速回到室溫，樣品更換非常方便。熱輻射屏大大降低了黑體輻射，提高了制冷效率。

系統采用了精心的設計來減低振動，采用各種減震裝置阻止機械振動影響測量的性能。在全量程溫度范圍內，樣品的振動小于1um ( X, Y, Z軸)。

CRYO最多可安裝6個可以進行微調整的探針臂，每個探針臂上的探針都可以進行3維方向上的定位。微波探頭可以±5°旋轉，使樣品可以更好的和探針匹配。DC探針低噪音，低漏電流，熱接觸好。RF探針可以頻率到67GHz.，光線可以從窗口入射，也可以通過光纖導入。專用的探針根據尺寸和材料不同，分為多種類型，探針減少了熱質量，優化了和器件的電接觸性。每個探針都直接和冷頭進行導熱，這樣就減小了探針對樣品的熱傳遞。