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    手動晶圓級太赫茲探針臺系統TS150-THZ返回列表

    MPI TS150-THZ是全球首個150 mm高頻專用探針臺,旨在對基板和150 mm晶圓進行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應用,例如

    MPI TS150-THZ是150 mm高頻專用探針臺,旨在對基板和150 mm晶圓進行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應用,例如高達1.5THz的寬帶,帶狀波導,次THz,負載牽引和RF噪聲。它提供了無與倫比的功能:

    • 無縫集成任何高達1.5 THz的寬帶,差分或寬帶擴頻器

    • 出色的機械穩定性和可重復性,結合方便和安全的操作

    • 測量路徑較短以獲得最佳的測量方向性

    卡盤移動系統

    TS150-THZ具有10mm的精確卡盤Z調整,旨在靈活地集成不同的擴頻器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。 在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案進行設置時極為有利,可以輕松快速地進行設置。

    MicroPositioners的多種配置

    專用且極堅固的探針壓板設計可容納兩個東西方向固定的MP80大面積MicroPositioner。 通過將兩個南北“電橋”作為標準配置,可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。

    探針座系統

    獨特的MP80-DX具有低至1µm精確的清晰度,搭配三豐數顯千分尺。

    成像系統

    可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學變焦高達12倍,工作距離超過45毫米。由于集成測試頭/調諧器固有的空間限制,要求與DUT的距離最短,因此這種顯微鏡的體積小,非常適合RF和mmW應用。

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