探針臺在大氣環境下的探針臺組件構成都有什么?返回列表
各標準類大氣環境下的探針臺組件構成如下:
1)•探針臺本體-用于支撐顯微鏡以及放置探針座的臺體,可放置不同精度及不同應用的探針移動裝置,即探針座,主體結構的設計采用了高精度機械加工組件,在設計上考慮振動對電學、磁學、光學測量的影響,采用了底部二層板的設計,結構合理,穩定性強,可搭配各類探針臺應用組件;
2)•樣品真空吸附固定載物臺Chuck卡盤-一般為圓形(方型可選),根據樣品尺寸可選擇載物臺尺寸,如4"、6"、8"、12",在臺面可放置被測晶圓、各類電子元器件、材料等樣品,利用真空吸附固定各類樣品,搭配靜音低振動真空泵工作;不同尺寸卡盤上具有多層吸附孔,對于各類尺寸樣品均可固定,卡盤可進行X/Y方向移動,Z軸方向上下升降,和THETA 方向可調;設計了快速升降結構,可實現對樣品精確定位以配合點針操作;其中Chuck卡盤可根據溫度要求,選擇加熱或低溫制冷卡盤,一般標準類大氣環境下選擇使用加熱卡盤居多,溫度范圍:-60度至200度/300度/或其它,帶有溫控裝置,溫控精度0.1度;需要說明的是低溫卡盤的選擇一般為真空探針臺配置,因低溫時在大氣環境下卡盤會有結箱現象,這樣會影響樣品的測試;
3)•顯微成像裝置– 一般根據用戶需要點針操作的樣品分辨率來選擇,配套組件包括:顯微鏡主體、物鏡、視頻成像裝置以及粗微調裝置;如樣品分辨率要求在40微米以下,建議使用體式類顯微鏡,價格相對較低,如果要求更高分辨率,由可選擇長焦金相顯微鏡,分辨率達微米級;對于視頻成像的選擇,可選C-MOS或CCD成像裝置;
4)•探針座– 配置選擇根據移動精度可選<0.7微米的M20型探針座,或<5微米的M30,M40型探針座;根據高頻測試或超大電流應用可選擇M60型高頻探針座;
5)•探針桿– 用于固定探針并連接到測量儀器,根據漏電流的要求進行選擇,一般分為彈簧式及管式,其中一端固定探針,另一端與半導體測量分析設備相連接,常見的Triax/BNC/SMA等連接接口。根據微弱信號測試,如nA/pA/fA級弱電流檢測和射頻微波信號測量,需要使用不同類型的探針桿;
6)•探針-主要分為DC(直流)探針與高頻探針。DC(直流)探針主要根據樣品Pad的尺寸等來選擇,針尖直徑(0.2um-200um)、探針形狀(直針、彎針)與材料(金屬鎢或鈹銅合金、錸鎢合金,銥合金等)可選。常用的直流測試使用鎢材質直針,直接可選(1微米至20微米或其它)。
7)•其他附件– 以上為標準探針臺的基本組件,其它組件可選:
a.屏蔽箱--隔離電磁波與光干擾,提高測量精度;
b.防震臺--減少外圍環境帶來的振動影響;
c.探針卡--可提高檢測效率;應對特殊測試要求的挑戰,如高頻,高壓,大電流,高溫,參數散布要求高的場景。
d.各類轉接頭--可連接不同測試分析設備;
e.射頻/微波探針--可測試除DC直流外的信號;
f. 真空泵
g. 測試線
h. 安全聯鎖裝置