Kosaka 6寸臺階儀 ET200A特點與優勢返回列表

極佳重復性與線性度

• 采用直動式檢測方式

• 可避免圓弧補正誤差

• 可避免Bearing間隙誤差

• 臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

• Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

高分辨率

• 縱軸最高分辨率0.1nm

• 橫軸最高分辨率0.1um

• X測定速度可調：5μm~2mm/s

低測定力

• 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定

• 可測定軟質材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

真直度保證-1

線性尺與時間取樣

形狀及粗度解析結果

粗度規范對應：可對應各種國際新舊標準規范，測量參數多達60種

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