英鉑科學助力杭州矽力杰搭建失效分析利器-激光鐳射探針臺返回列表

一、YB800

產品介紹：

YB800是200mm手動探針臺系統，可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產品優勢：

1、單機多應用設計

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學材料量測應用，如射頻和 DC、IV/CV 測試晶圓級可靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸微調設計/Y 軸快速導入導出/載物臺設計

•堅固且可乘載多達 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺

•兩段式工作臺快升把手設計,接觸(contact） - 分離（loading)，實現高可靠性、高效率性

•具備英鉑科學儀器獨有專利技術的氣浮式移動樣品臺，搭配微調千分尺

3、彈性選配與升級性

•另有多種晶圓載物臺可做升級，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統可搭載，以完全支援您的應用需求

4、高壓人機安全防護設計

•Platen 底部特征聚合物高壓防護設計

•Chuck 獨特安全隔離防護設計

•采用德國 PEEK 雙層高壓防護環套設計的針桿（標準 SHV Coaxial 接口）通用keithley&keysight 高壓儀表

•紅外感測 interlock 安全互鎖機制

二、激光鐳射

產品特色：

•All In One design removes the power supply and umbilical

•Air-cooled,Compact,No maintenance needed

•3 Operating modes: Single shot,Continuous (1 Hz), Burst (max. of 100 pulses at 5 Hz.)

•Wavelengths Selectable for 1064 nm,532 nm, 355 nm or 266 nm

•Cutting size from 1µm x 1µm (under 100X objective) to 50µm x 50µm (under 50X objective).o'o'o'o

•Simple communication via USB or remote control box

•Precise energy control with >1000 steps

•Optional Internal CCD camera

•Internal LED or External Whitelight spot marker

•Mountable on most Failure Analysis microscopes

功能介紹：

1、半導體失效分析

2、LCD Repair

3、微米級鐳射加工

4、Resist Trimming

5、激光mark和激光切割