手動晶圓級探針臺系統（微屏蔽）TS300-SE Probe System返回列表
MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探針臺旨在對300mm晶圓及以下微小器件提供高級EMI RFI 不透光屏蔽，超低噪聲，
MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探針臺旨在對300mm晶圓及以下微小器件提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能環境。 它以較佳高度與防震臺結合在一起，使日常操作非常方便。
適用于多種晶圓量測應用
• ，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
• 支援飛安級低漏電量量測
• 內置防震系統
• 溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C
探針臺特點與優勢
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統，可提供超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的測試環境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系統提供多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin等多種搭配測試組合。
MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置,在簡化日常操作方面發揮了重要作用。
空氣軸承
MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手定標器控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性，同時又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。
獨特的卡盤Z調整
TS300-SE除空氣軸承XY工作臺外還包括5mm的Z吸盤調整(μm分辨率)，可實現精確的接觸/超程控制或探針卡跌落尖端校正。
1毫米刻度指示器為操作員提供了簡便的反饋，另外20毫米氣動舉升機提供了便攜式的一鍵升降程序。
