MPI手動晶圓級探針臺系統的詳細介紹返回列表

英鉑科學儀器(上海)有限公司是一家專注于半導體晶圓級測試系統、微納米科學等領域提供綜合性解決方案的企業，為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供先進的半導體測試系統及微納米科學儀器設備，助祖國半導體科學事業的騰飛貢獻一份綿薄之力!

MPI手動晶圓級探針臺系統TS150&TS200&TS300應用于測試半導體晶圓級、器件類電學特性，具備可以快速拖動樣品臺，更換樣品功能，并且有著獨特Platen平臺設計，測試重復性提高95%。

MPI 全系列探針臺具備模塊化設計,可搭配不同變倍比顯微鏡，同時與德國ERS聯合開發設計具有氣冷溫控技術的Thermal Chuck同步使用。

優點 :

• 適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS) 和高功率 (HP)

TS150&TS200&TS300細節優勢

Platen Lift技術-三段平面式升降及下針： MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下針并且內置安全鎖，不僅實現了1um重復性，同時也使得整個下針過程變得十分平緩且平穩從而避免了撞針。這大大提升了用戶的體驗，方便了用戶的操作

MPI 手動晶圓級探針臺系統