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詳解探針臺由哪些部分組成？
1、樣品臺(載物臺)：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會依據晶圓的尺寸來設計大小，并配套了相應的精細挪動定位功用。
2、光學元件：這個部件的作用使得用戶可以從視覺上縮小察看待測物，以便準確地將探針尖端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用平面變焦顯微鏡，有的采用數碼相機，或許兩者兼有。
3、探針(探針卡)：待測芯片需求測試探針的銜接，才干與測試儀器樹立銜接。罕見的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭拔出單個探針臂并裝置在操縱器上。探針尖端尺寸和資料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖婚配。
4、射頻探針：射頻探針的實質為適配器，將芯片測量接口轉為同軸或波導端口。罕見的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達110 GHz(MPI目前適配安利的擴頻模塊可到220G)波導接口的射頻探針頻率高達1.1 THz，有一些型號的探針可以選配BiasTee。
5、校準：微波射頻在片測試的校準次要是指S參數校準，可以經過運用校準片完成校準。普通的校準片提供開路(Open)、短路(Short)、婚配(Match)、直通(Through)和延遲線(Line)標準件，可完成TOSM校準或TRL校準或SOLT或SOLR或LRM等。
可以應用英鉑科學廠家提供的標準件參數，普通廠家提供的校準件參數包括開路電容、短路電感、負載阻抗及寄生電感、直通/延遲線電長度等，依據這些數據，可以在矢量網絡分析儀中編輯校準件，完成校準。
探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針銜接至測量儀器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。
6、操縱器(定位器)：探針臺運用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并疾速固定它們。通常運用磁鐵或真空把它們固定在適當的地位。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖端，并且在某些狀況下提供旋轉運動。
7、網絡分析儀：雖然傳統網絡分析儀也能無效地測量有源器件，例如放大器、混頻器和轉換器，但它們不能提供以后研發和消費工程師所盼望的精度、易用性和速度。而這些功用關于無線通信行業來說至關重要—在這些行業中，產品上市速度往往可以決議一家公司的成敗。例如，在消費進程中，任何消費延期或產量下降都會極大影響公司在工夫和本錢方面的底線。另外，運用傳統網絡分析儀對眾多不同元器件停止多種測量是一個漫長和有趣的進程，并且需求不時重新調整測試設備設置，使測試變得更冗雜。為此，當今的工程師需求一個更快、更高效的替代解決方案。
新型綜合網絡分析儀—集多種工具的功用于一身。它除了可以準確地停止多種測量..........
