超低溫磁場探針臺,三維磁場探針臺,超低溫半自動探針臺介紹返回列表
半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、4.5K(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺,設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上,能夠配置來各種測試應用程序。
主要技術指標
· 可用于高達100mm、150mm和200mm的晶圓測試
· 可配置4或6個探針臂。
· 還可以選擇探卡進行測試
· 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數碼變焦顯微鏡
· BNC, Triax, DC pin and RF 可選
· 用于探針微米級定位的高分辨率探針臂
· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選
· RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統
· 具有良好的隔振性能
MPS-C-350 可以完全將樣品放在可控三維磁場進行測試的探針臺。 MicroXact獨特的設計使自旋電子器件、納米電子器件和許多其他材料和器件的晶圓級測試成為可能。
主要技術指標
· 磁場可以以三種模式被任意控制:固定的值, 線性掃描, 或者用戶可以自定義。
· Wafer size:10mm,可升級到200mm
· 磁場:方向任意三維最大6kOe (0.6T)
· 定向精度+/- 1.0
· 在10mm直徑范圍內的均勻性+/- 2%
· 穩定性優于0.1%
· 頻率范圍:DC to ~ 67GHz
· 分辨率:200mG
· CHUNK: Isolated, grounded or coaxial.
· 運動范圍:100mm x 100mm
· 集成MPS系列軟件,可在完全可控的三維磁場中快速、簡便地捕獲圖像/視頻。
其提供了一個經濟的, 穩定的, 可靠的超低溫和強磁場環境用于微納器件和芯片的測試. 得益于優異的振動隔離、熱力學,使這套系統應用非常廣泛, 橫跨納米電子學自旋電子學 , 分子電子學等。
系統使用閉循環制冷機和優異的熱力學設計,特別設計的低振動系統,達到行業的優秀標準。超穩定的位移臺為探針扎針測試提供一個可重復的測試結果。可選擇性的探針和晶圓卡盤提供了超精密fA-級測試。 系統可進行DC/RF/毫米波/光纖等多種光電定位性能測試。
主要技術指標
· 高性價比, 穩定,可靠,使用方便
· 溫度范圍 10K -400K
· 4.2K- 480K (可選)
· 閉循環制冷,無需消耗液氦
· 樣品座尺寸: 1英寸( 2英寸可選)
· DC - 325GHz 、HP、光纖臂可選
· 4個探針臂 (最多可選配6個探針臂),高精度XYZ and 可選 θ 旋轉調節
· 在探針上獨特的熱沉設計
· 樣品座和防輻射屏溫度可控
· 窗口(高純石英-其他材質可選)
· 高頻減震系統
· 可提供垂直、水平以及多維磁場垂直方向可達到5T,水平方向達到1T以及1T的多維磁場配置
· 系統集成Labview軟件,可方便被客戶進行儀表端集成
如果以上不能滿足您的測試需求,我們將會提供高水平的定制服務
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