探針臺如何工作？分類都有什么？返回列表

探針臺如何工作?

探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針裝置到操縱器中，并運用顯微鏡將探針尖端放置到待測物上的正確地位。一旦一切探針尖端都被設置在正確的地位，就可以看待測物停止測試。關于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，運用顯微鏡找到準確的地位，壓板降低后下一個芯片可以停止測試。半自動和全自動探針臺零碎運用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個挪動進程，進步了探針臺生產率。

探針臺的分類

探針臺可以依照運用類型與功用來劃分，也可以依照操作方式來劃分成：真空探針臺、高低溫探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺、手動探針臺、光電探針臺、磁場探針臺。

手動探針臺零碎望文生義是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動挪動的。因而普通是在沒有很多待測器件需求測量或數據需求搜集的狀況下運用手動探針臺。該類探針臺的優點之一是只需求最少的培訓，易于配置環境和轉換測試環境，并且不需求觸及額定培訓和設置工夫的電子設備、PC或軟件。由于其靈敏和可變性高的特點，非常適合研發人員運用。

全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓資料處置搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準)。擔任晶圓的保送與定位，使晶圓上的晶粒順次與探針接觸并逐一測試。可以24小時延續任務，通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處置薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價錢也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。