低溫磁場探針臺LRT-001 微型探針冷熱臺/納米探針臺返回列表

LRT-001 微型探針冷熱臺·

結構緊湊，適用于各種變溫測試

· -190℃~600℃(配液氮致冷模塊)

· 氣密腔室設計，可通保護氣氛

· 4探針，手動定位(可擴展為8個)

· 上位機軟件控制

· 支持改動或定制

溫控特性

1. 載樣臺材質：銀質

2. 溫度傳感器及數量：PT100，2個(配置載樣臺表面溫度監測)

3. 溫度控制：高精度PID控制(高低溫控制器GD-001)

4. 溫度范圍：-190℃~600℃(配液氮致冷模塊)

5. 控溫速度：0~10℃/min

6. 加熱時間：3min(從室溫到600℃)

7. 致冷時間：4min(從室溫到-190℃)

8. 溫度分辨率：0.1℃

9. 溫度穩定性：±0.1℃(>-160℃)，±0.3℃(<-160℃)

光學特性

1. 光路：反射光路

*可升級為透射光路

2. 視窗：可拆卸更換，可用不同材質玻璃實現不同波段光觀察

3. 最小物鏡工作距離：12.5mm

4. 透光孔：默認無透光孔，可升級增設透光孔

5. 上蓋視窗：φ25mm

6. 視窗除霜：負溫下吹氣除霜管路

納米探針臺

納米探測面臨的挑戰

· 定位精度

· 安全(軟)著陸接觸

· 具有適當尖端半徑的可靠探針頭

· 清潔環境：試驗箱、樣品、探針頭

· 振動敏感性低

· 噪聲抑制

· 漂移補償

· 電路編輯/延遲：在FIB角度操作

優勢

電流成像

· 快速圖像采集(每幀約5秒)

· 不需要更容易控制的反饋

· 原位應用，掃描電鏡可以用來確定投資回報率

· 與標準鎢探針頭配合使用

· picoamp分辨率，識別泄漏

· 污染物清除

恰當的高級探測工具

· 適應您對工作流程的快速理解

· 相關的光鏡和電子顯微鏡，EBIC/EBAC，電流成像-獲得整個圖像

· 快速發現故障(開路、短路、連接泄漏、晶體管故障等)