手動晶圓級太赫茲探針臺系統TS150-AIT & TS200-THZ返回列表

2021-12-15 英鉑科學儀器（上海）有限公司

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統專為新興的THz應用而設計，例如高速5G通信，衛星，非侵入性光譜，醫療保健設備以及短距離汽車雷達等，其方法

TS150-AIT和TS200-THZ探針系統專為新興的THz應用而設計，例如高速5G通信，衛星，非侵入性光譜，醫療保健設備以及短距離汽車雷達等，其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調諧器集成。這兩個系統是150 mm和200 mm探針系統，可結合毫米波，太赫茲(THz)和自動阻抗調諧器應用的要求，以較佳的測量方向性提供準確的測試。

任意最高可達1.5THz的帶寬、差分或寬帶擴頻器和/或自動阻抗調諧器的無縫集成;

擴展器/調諧器集成的新穎設計，可實現較佳的測量動態;

可靠的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作。

氣浮式移到系統

MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手定標器控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性，同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。