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Chuck System
產品概要：
對于不同的要求，MPI提供了多種：同軸、 三軸、射頻、毫米波、大功率夾頭、從環境溫度到-60°C至300°C，可用選項的示例包括帶有真空孔的專用頂表面，鍍金或純絕緣材料制成的表面。
基本信息：
ERS集成技術(IT)
在不同溫度下進行晶圓探測仍然是一個重大挑戰，MPI與ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供熱卡盤的統一軟件和硬件集成：測量結果、減少維護、同類最佳的熱特性、較快的過渡時間、更好的系統平坦度、在整個溫度范圍內具有出色的熱分布。
MPI和ERS AirCool®PRIME技術
MPI公司和ERS電子有限公司共同設計了新型300mm熱卡盤AirCool®PRIME技術系列，可將浸泡時間減少60%。這些系統可以配置為具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的較低溫度起點，并具有200°C或300°C的較高終點，所有這些都是為了適應不同的需求和預算。AirCool®PRIME 技術可以在沒有冷卻器的情況下在-10°C下進行測試，或者使用非常小的冷卻器在-40°C下進行測試，從而使系統極具成本效益，降低了總體測試成本，減少轉換時間，改善電氣性能。
熱控制器
熱控制器觸摸屏面板無縫集成到所有MPI的探針系統中，提供了極為方便的操作，并大大減少了測試單元的占地面積。
ERS獨特的AC3冷卻技術
這些卡盤結合了獨特的AC3冷卻技術和自我管理系統，可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™，可大幅減少30%至50%的空氣消耗。
高熱穩定性探針臺板和輔助夾頭
所有MPI 300°C系統都包括專用的高熱穩定性探針壓板，無論溫度范圍如何，都能實現較佳的接觸質量。所有MPI RF卡盤都包括兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準。
技術優勢：
1、具有ERS集成技術
2、熱控制器觸摸面板方便快捷
3、具有ERS獨特的AC3冷卻技術
4、高熱穩定性探針臺板，接觸質量較佳
應用方向：
應用于-60°C至300°C的環境溫度。
