TS200-SE Probe System

產品概要：

MPI TS200-SE手動探針測試系統具有很強的功能。具有高度可重復性（1µm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300µm）和加載（3mm）的三個離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置，附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與Chuck對齊。

基本信息：

MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)8英寸探針臺可提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能。

1、適用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

3、支援飛安級低漏電量量測

4、溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

技術優勢：

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的屏蔽系統，可為超低噪聲，低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™的一個完全可配置的部分，它允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin等多種組合測試；MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于多種搭配，在簡化日常操作方面發揮了重要作用；完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探針卡支架替換。

空氣軸承

MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手冰球控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了操作的便利性，同時又具有額外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。

獨特的卡盤Z調整

TS200-SE除空氣軸承XY工作臺外還包括5mm的Z吸盤調整(μm分辨率)，可實現精確的接觸/超程控制或探針卡跌落尖端校正，1毫米刻度指示器為操作員提供了簡便的反饋。另外20毫米氣動抬升搭配提供了簡便的快速升降功能。

多種卡盤選項

TS200-SE可提供多種卡盤選件， 以滿足不同的預算和應用要求：同軸，三軸或射頻、高功率等，RF卡盤獨特帶有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的射頻校準;-60°C至300°C的多種ERS AirCool卡盤。

溫度控制集成

晶圓裝載門可以在15°C以下的任何溫度下鎖定，此獨特功能使TS200-SE成為市場上安全的手動探針臺，此外，溫控系統可以通過集成式的觸摸屏來操作，該觸摸屏放置在操作員面前的便利位置，以實現快速，操作和即時的反饋。

ERS獨特的AC3冷卻技術

MPI旗下探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術及其空氣管理系統，可直接從“已用”空氣中清除MPI ShielDEnvironment™，可減少多達30%至50%的干燥空氣消耗。

多種光學選項

MPI光學器件可以選擇單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高達12倍光學變焦的MegaZoom™MZ12或超過42毫米工作距離的EeyZoom™EZ10 ——其具有人體工程學20倍目鏡的10倍光學變焦系統，90mm工作距離和低至2um以下的光學分辨率。

應用方向：

應用于多種晶圓量測應用，如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)。

TS200-SE Probe System

獨特的升級途徑

MPI旗下全系列探針臺系統均具有模塊化設計創造了獨特的升級途徑。所有TS200-SE探測附件，例如熱卡盤，顯微鏡和定位器，都可以升級或重新配置，以適應涵蓋工具壽命的各種應用需求，從而使擁有成本降低。具有ShielDEnvironment™的MPI TS200-SE探針系統可提供EMI屏蔽，并允許進行低噪聲的器件在片測量，從而可廣泛用于各種應用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片級可靠性，失效分析， 設計驗證和大功率。

TS200-SE Probe System

TS200-SE Probe System

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