探針臺選型的注意事項（二）返回列表

接上文：探針臺選型的注意事項英鉑科學儀器詳解

探針臺選型的注意事項

※最大需要測幾inch的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片，最小的單顆芯片尺寸?

※探針臺機械精度要求多高?

※點測樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內部的metal線路?

※最多需要幾個探針同時去點測?

※是否會用到探針卡測試?

※光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?

※探針點測時，對電流的要求能否達到100fa或者以下?低

電容要求能否要做到0.1pf?是否有射頻需求?

※接駁的測試儀器接口有哪些?

※測試環境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?

※對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?

※是否需要防震桌?

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣?

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